Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO₂ : Application à l'automatisation des procédés

Christophe Pijolat (1, 2) , Muriel Sauvan (1, 2) , Jean Durand (3)

1 SPIN-ENSMSE - Centre Sciences des Processus Industriels et Naturels
2 MICC-ENSMSE - Département Microsystèmes, Instrumentation et Capteurs Chimiques
3 LMPM - Laboratoire des Matériaux et Procédés Membranaires

L'automatisation de certains précédés nécessite de disposer de micro-capteurs de gaz. Un exemple d'un tel capteur à base de SnO₂ friité est décrit du point de vue technologique ainsi qu'au niveau de ses performances. Afin de se satisfaire à certaines contraintes de miniaturisation, il apparaît nécessaire de développer des capteurs en couches minces. Cependant le manque de sélectivité de ces couches a conduit à l'utilisation de couches "filtres" déposées au-dessus des couches SnO₂. Parmi les couches métalliques testées, on peut noter que le palladium ainsi que le platine permettent d'améliorer la sélectivité vis-à-vis de l'alcool. D'autres solutions utilisant des couches intermédiaires de SiO₂ sont actuellement en cours d'étude.

Mots clés: micro-capteurs de gaz; SnO₂; palladium; platine

Domaines: Génie des procédés

Christophe Pijolat, Muriel Sauvan, Jean Durand. Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO₂ : Application à l'automatisation des procédés. Proceedings 6ème Congrès Génie des Procédés, Sep 1997, Paris, France. pp.37-42. ⟨emse-00435516⟩